2-6英寸裸片、研磨片參數(shù)規(guī)格

生長方式：  直拉 CZ

       型號： N型/磷、砷、銻    P型/硼  （摻雜元素）

    晶向：  111/100

    電阻： 0.0015-20 Ω·cm（電阻范圍可選、也可按照客戶需要訂制）

    厚度：  200-5000μm（厚度范圍可選、也可按照客戶需要訂制）

 平整度TIR：<5μm

 彎曲度Bow:  <20μm

 翹曲度TTV:  <20μm

粗糙度nm :  <5nm
 

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