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ZnO薄膜和A1摻雜ZnO (ZAO)薄膜的射頻磁控濺射制備及其性能研究

2011-04-25 9080 2.44M 0

ZnO薄膜和A1摻雜ZnO (ZAO)薄膜的射頻磁控濺射制備及其性能研究

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