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點擊 7354回答 1 2011-04-20 20:54

硅片產生油污問題的主要原因有哪些?

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支持 0 反對 0 舉報 2011-04-23 14:47
一、油污 描述:硅片中部油污、粘膠端面油污、滿面不規則油污。 產生條件: ① 砂漿最后一刀; ② 掉片(油污出現在未掉片的硅棒上); ③ 交接班時間; ④ 去膠最后一槽溫度過高或時間過長; ⑤ 剛換清洗液。 原因解析: ① 切割過程中溫度過高,砂漿擴散或附著到硅片表面,增加了對清洗的要求; ② 過多掉片導致噴淋出現盲區,在去膠過程中擴散或附著到硅片表面; ③ 裝硅片的藍色盒子中的溫度過高、盛放時間過長導致殘留砂漿擴散到硅片表面; ④ 去膠最后一槽中的水溫高,長時間導致殘留砂漿擴散到硅片表面; ⑤ 清洗液攪拌不均勻或清洗液未能均勻與水混合導致清洗能力減小; ⑥ 由于現有的噴淋方式在粘膠面存在噴淋弱點,因此粘膠面易出現噴淋不干凈以及導致粘膠面油污。 解決方法(經過嘗試均有效): ① 降低最后一槽的去膠溫度或去膠時間,從而減少殘留砂漿擴散或附著在硅片表面的機會,最終達到避免出現油污; ② 去膠后盛裝硅片的藍色盒子中的水溫更改為冷水,減少殘留砂漿在硅片表面的擴散與附著; ③ 對于大量掉片的硅棒,采用手動脫膠,經過噴淋、超聲后的硅棒直接從設備上拉下來,并翻過來放置在40℃左右的熱水中脫膠;
 
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