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點(diǎn)擊 6466回答 0 2011-05-16 20:51

單晶硅電阻率頭部虛高怎么處理？

已關(guān)閉 懸賞分：0
1.采用什么設(shè)備？
2.采用多少溫度？
3.退火時(shí)間如何控制？（溫度如何控制？
4.是單晶棒退火還是硅片退火？
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