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點擊 2893回答 0 2011-05-17 22:18

PECVD核心問題討論

已關閉 懸賞分:0
最近本人遇到一個難題,也就是我們做PECVD經常要考慮的:SiN鈍化作用!
目前我們做出來的電池片,鍍膜以后少子壽命有明顯的下降,一直在尋找原因。
問各位能兄是否遇到相同的情況!或者提供相關的能夠提高少子壽命的工藝方案。
設備大家都知道,是板P和管P!
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