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點擊 9186回答 0 2011-05-18 20:51

PSG去除的基本參數問題?

已關閉 懸賞分：0
偶是新人,被分配到了,去PSG工藝.但是由于沒啥經驗,以下幾個問題請功高手們告知一下.
PSG去除的HF濃度大家都用多少啊?
大家用的HF濃度刻蝕速率一般都是多少呢?
需要多長時間?
刻蝕的溫度應該保持多少呢?
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