硅片是光伏電池片的載體，硅片質(zhì)量的好壞直接決定了光伏電池片轉(zhuǎn)換效率的高低。硅片在經(jīng)過切片、倒角、研磨、拋光等幾道工序后，表面不可避免地會(huì)受到不同程度的污染，因此，需要對(duì)硅片進(jìn)行清洗，以去除其表面的一些顆粒、金屬離子以及有機(jī)物。但硅片清洗的好壞在一定程度上會(huì)影響硅片的質(zhì)量，處理不當(dāng)會(huì)損害硅片的穩(wěn)定性與可靠性，甚至使得整個(gè)產(chǎn)品報(bào)廢。由于硅片在進(jìn)入每道工藝之前表面都必須是潔凈的，所以需經(jīng)過多次重復(fù)清洗，使得硅片的清洗工作成為一個(gè)繁瑣的問題，為此受到國內(nèi)外研究機(jī)構(gòu)及企業(yè)的重視。這是一個(gè)光伏行業(yè)不容忽視的工序。

清洗方法多種，超聲波清洗法領(lǐng)銜

硅片生產(chǎn)線因單、多晶的不同而分為兩條生產(chǎn)線：單晶硅片的生產(chǎn)設(shè)備包括單晶爐、切斷機(jī)、滾圓切方機(jī)、多線切割機(jī)、清洗機(jī)等；多晶硅片的生產(chǎn)設(shè)備包括多晶鑄錠爐、切方機(jī)、去頭尾機(jī)、多線切割機(jī)、脫膠、硅片插入、清洗機(jī)等。但無論哪種生產(chǎn)線都需要用到清洗設(shè)備，這是其必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，因此硅片清洗設(shè)備有一個(gè)固定的市場(chǎng)，吸引了諸多企業(yè)的進(jìn)入。

很多企業(yè)開發(fā)并生產(chǎn)硅片清洗設(shè)備，所以目前市面上有多種用于硅片清洗的工藝，比如超聲清洗法、RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗、兆聲清洗法、高壓噴射法、離心噴射法、等離子清洗、氣相清洗、激光束清洗等等，形成了百花齊放的勢(shì)態(tài)。使用何種清洗工藝方法，需要根據(jù)不同客戶不同硅片上的表面狀態(tài)、潔凈度、污染情況等進(jìn)行選擇。據(jù)業(yè)內(nèi)反饋，在眾多的清洗方法中，使用較多的是超聲波清洗法與RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗法。

RCA清洗法主要用于清除硅片表面的有機(jī)表面膜、粒子和金屬污染物。在RCA清洗工藝中涉及到兩組化學(xué)試劑，一般分兩個(gè)步驟將兩組化學(xué)試劑通過固定比例調(diào)成酸性液進(jìn)行清洗。提到化學(xué)試劑，據(jù)很多清洗設(shè)備制造商反應(yīng)，化學(xué)試劑即清洗溶劑是當(dāng)前光伏硅片清洗設(shè)備的技術(shù)壁壘之一。因?yàn)樵噭┎煌骷宜玫腞CA清洗法也不相同，比如一些清洗步驟的增加或減少等，但無論是傳統(tǒng)RCA清洗法還是經(jīng)過改良后的RCA清洗法，對(duì)去除硅片表面的大部分污染物還是有效的。雖然RCA清洗方法不錯(cuò)但也存在弊端，如在生產(chǎn)過程中需要消耗大量液體化學(xué)品與超純水，加大了硅片的粗糙度等。

經(jīng)過行業(yè)人士對(duì)硅片清洗方法的探索，超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)逐漸顯現(xiàn)出來，它在切磨后除去大粒子方面操作簡單，清洗效果好。全自動(dòng)單/多晶硅片超聲波清洗機(jī)一般由2個(gè)市水超聲波清洗（帶拋動(dòng)）、2個(gè)堿性洗劑超聲波清洗槽、3個(gè)RO水超聲波溢流漂洗槽等7個(gè)槽體組成，附多個(gè)超聲波系統(tǒng)、加熱過濾循環(huán)系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、機(jī)械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等輔助裝置。超聲波清洗法也有弊端，即隨著粒子尺寸的減小清洗效果也在下降，同時(shí)由于聲能的作用，對(duì)硅片也存在潛在損傷。

此外，還有兆聲清洗法、氣相干洗等，隨著各種清洗方法的不斷改進(jìn)與綜合使用，發(fā)展至今硅片清洗已不再是一個(gè)單一步驟，而是一個(gè)系統(tǒng)工程。未來清洗設(shè)備將向綜合化、集成化與全自動(dòng)化方向發(fā)展，這就需要清洗設(shè)備制造商們加大研發(fā)力度，不僅僅是制造出設(shè)備，從某種程度上說，還需根據(jù)各家硅片企業(yè)的具體情況提供不同清洗方案，幫客戶最大限度地減少損失降低成本，同時(shí)減少清洗設(shè)備本身所產(chǎn)生的污染問題，避免再次污染。

硅片清洗設(shè)備市場(chǎng)現(xiàn)狀

國內(nèi)目前已有超過上百家從事光伏裝備研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)，主要以硅片加工、電池片制造、組件生產(chǎn)和輔助設(shè)備制造為主，廠家多分布在華東、華北和華南地區(qū)。我國硅片清洗設(shè)備市場(chǎng)的分布，也呈現(xiàn)出一定的地域性，這與清洗設(shè)備廠商所服務(wù)的主要對(duì)象及硅片電池組件企業(yè)的分布情況有關(guān)，僅華東長三角地區(qū)硅片的消耗掉就占到全國總需求量的一半，其次則為華南、華北、西北、東北等地區(qū)。如同百花齊放的清洗設(shè)備一樣，硅片清洗設(shè)備企業(yè)也同樣如此，并呈現(xiàn)出自己的特色。

1．民營實(shí)力派品牌顯山露水

深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司，是一家從事光伏及綠色能源產(chǎn)業(yè)專用設(shè)備的制造商，其產(chǎn)品從宏觀上涵蓋了原生多晶硅料生產(chǎn)設(shè)備、硅片加工設(shè)備、晶體硅電池生產(chǎn)設(shè)備等，具體包括全自動(dòng)硅芯/硅棒清洗設(shè)備、全自動(dòng)硅料清洗設(shè)備、全自動(dòng)硅片清洗設(shè)備、全自動(dòng)單晶制絨酸洗綜合設(shè)備、多晶鏈?zhǔn)街平q設(shè)備、濕法刻蝕設(shè)備、等離子體刻蝕機(jī)、PECVD、非晶硅玻璃基片清洗設(shè)備等。

與很多光伏企業(yè)一樣，捷佳創(chuàng)成立的時(shí)間并不長，但在業(yè)內(nèi)形成了一定的口碑與知名度，特別是在清洗設(shè)備市場(chǎng)中占有率頗高。據(jù)了解，該公司市場(chǎng)觸角延伸得較廣，像賽維LDK、東莞南玻、晶澳太陽能、英利等一些知名廠商均為其重要客戶。業(yè)內(nèi)硅片企業(yè)對(duì)捷佳創(chuàng)產(chǎn)品的印象是：“捷佳創(chuàng)公司產(chǎn)品價(jià)格便宜、運(yùn)行穩(wěn)定，性價(jià)比不錯(cuò)，就是外觀上看起來沒有國外設(shè)備精致。”

為確保產(chǎn)品的實(shí)用性以及保持市場(chǎng)的領(lǐng)先地位，捷佳創(chuàng)在技術(shù)研發(fā)上下了一定的功夫，僅在產(chǎn)品設(shè)計(jì)上已申請(qǐng)專利數(shù)十余項(xiàng)，涉及硅片清洗方面的專利有硅片清洗設(shè)備的抽風(fēng)通道、工件清洗設(shè)備的脫水提升裝置等，該公司比較注重自主研發(fā)。

同樣在業(yè)內(nèi)有一定口碑的國產(chǎn)民營設(shè)備制造企業(yè)還有上海釜川超聲波科技有限公司、無錫奧曼特科技有限公司、蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司、蘇州市昊日自動(dòng)化設(shè)備有限公司等，這些企業(yè)都在市場(chǎng)上占有一定的份額。其中蘇州市昊日自動(dòng)化設(shè)備有限公司定位中高端，目前主要客戶有阿特斯、天合光能、賽歷科技、西安合木等企業(yè)，擁有較完善的生產(chǎn)線。

2．中國電子科技集團(tuán)各分所單位——實(shí)力厚、設(shè)備全

中國光伏產(chǎn)業(yè)近幾年的飛速發(fā)展，給設(shè)備行業(yè)帶來了新的發(fā)展機(jī)遇。 據(jù)了解，目前我國光伏設(shè)備在硅材料生產(chǎn)、硅片加工和電池片生產(chǎn)中，大部分環(huán)節(jié)已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。在這些國產(chǎn)設(shè)備軍團(tuán)中有一股勢(shì)力不容小覷，即中國電子科技集團(tuán)旗下的眾多分支單位，如48所、45所、2所等，通過近幾年的積累，國產(chǎn)設(shè)備已取得本土市場(chǎng)和客戶的認(rèn)可。

中國電子科技集團(tuán)第48所是目前中電科技集團(tuán)旗下各所中光伏設(shè)備研發(fā)走在前列的單位，該所涉及光伏行業(yè)的主要產(chǎn)品基本分兩大類：一類是圍繞晶體硅光伏電池制造設(shè)備，一類是硅材料加工設(shè)備。硅片清洗設(shè)備屬于第二類，但目前該所主打產(chǎn)品是針對(duì)晶體硅光伏電池的設(shè)備。
中國電子科技集團(tuán)2所在多晶硅片制造設(shè)備方面造詣?lì)H深。多晶硅片工藝流程一般分為硅料分揀、腐蝕清洗、噴砂、鑄錠、線切、脫膠、預(yù)清洗、烘干、包裝等幾個(gè)工序，中國電科2所依靠自身工藝和技術(shù)優(yōu)勢(shì)開發(fā)了除多線切割機(jī)以外的多晶硅鑄錠爐、硅材料腐蝕清洗線、硅錠/硅塊清洗機(jī)、硅片清洗/脫膠設(shè)備等一系列硅片制造設(shè)備，形成了完整的硅片生產(chǎn)鏈，目前可以提供多晶硅片整線集成服務(wù)和工藝支持。據(jù)悉，該所設(shè)備已應(yīng)用于英利、天威薄膜、晶澳太陽能、光為等一批國內(nèi)知名企業(yè)中。

此外，中國電子科技集團(tuán)45所也在這一領(lǐng)域有相關(guān)的研發(fā)與生產(chǎn)銷售，但硅片清洗設(shè)備的市場(chǎng)份額在該公司的整個(gè)產(chǎn)品銷售中占比較小，屬于兼顧型設(shè)備產(chǎn)品，并不是該公司的主要業(yè)務(wù)。

3．張家港企業(yè)群——快速崛起、規(guī)模較小

熟悉江浙光伏產(chǎn)業(yè)的人會(huì)發(fā)現(xiàn)一個(gè)有趣的現(xiàn)象，這里很多地級(jí)城市都有各自的企業(yè)群集標(biāo)識(shí)，比如寧波慈溪的接線盒企業(yè)、江蘇張家港的清洗設(shè)備企業(yè)等。由于江浙地帶分布著眾多的硅片、電池、組件企業(yè)，近距離的刺激了相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈配套企業(yè)的發(fā)展，加上江浙地區(qū)加工成本低廉、物流方便以及經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)的優(yōu)勢(shì)，在巨大的市場(chǎng)利益驅(qū)動(dòng)下，短時(shí)間內(nèi)快速興起了一批批企業(yè)。

張家港市的清洗設(shè)備企業(yè)數(shù)得上名字的有近三十家，還有一些與之搭界的好多只有一兩條生產(chǎn)線的小企業(yè)和小作坊，崛起快、規(guī)模小、企業(yè)多成為張家港清洗設(shè)備企業(yè)群的一個(gè)特點(diǎn)。出現(xiàn)大批小規(guī)模企業(yè)的原因與張家港有濃厚的電器和電子行業(yè)的商業(yè)氛圍密切相關(guān)，很多企業(yè)的名字也都和電子有關(guān)；另外一個(gè)特點(diǎn)是這里的企業(yè)多以生產(chǎn)和銷售超聲波清洗設(shè)備為主，比較突出的幾家如張家港市容電氣有限公司、張家港華泰超聲科技有限公司等。

較好的產(chǎn)品性價(jià)比與服務(wù)使張家港市部分清洗設(shè)備企業(yè)的產(chǎn)品進(jìn)入了國內(nèi)一線硅片企業(yè)的車間，但還有一些企業(yè)屬于小作坊式，進(jìn)入時(shí)間短，工藝并不精良，屬于乘行業(yè)發(fā)展之勢(shì)，希望短時(shí)間撈錢的投機(jī)型企業(yè)，此類企業(yè)只能靠低價(jià)搶食。

4．國外品牌定位高端，競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)大

一般情況下，只要是能生產(chǎn)制造晶硅電池清洗設(shè)備的企業(yè)，基本都能制造硅片清洗設(shè)備，因?yàn)榫Ч桦姵厍逑丛O(shè)備的技術(shù)含量與技術(shù)要求都要高于硅片清洗設(shè)備，且有些原理還是相通的。在多晶硅光伏電池片生產(chǎn)過程中，國內(nèi)外約80%左右的在線式酸洗制絨設(shè)備市場(chǎng)由德國RENA公司和SCHMID公司等企業(yè)控制，這兩者在該領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位，在低端產(chǎn)品價(jià)格廝殺比較激烈時(shí)，這兩家企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力并沒有被削弱。

德國SCHMID公司與RENA公司（瑞能）都是漂洗式設(shè)備領(lǐng)域的主流供應(yīng)商，其中RENA的產(chǎn)品覆蓋了光伏濕法加工設(shè)備的大部分領(lǐng)域，包括自動(dòng)化硅片清洗設(shè)備、單/多晶電池片制絨設(shè)備、祛PSG/周邊刻蝕設(shè)備等，從工藝研發(fā)到裝備制造都獲得了先機(jī)，是光伏濕法加工設(shè)備制造的佼佼者。

國外企業(yè)中，日本三洋、石井表記兩家公司也頗具競(jìng)爭(zhēng)力，但由于這個(gè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)太激烈，很多國外企業(yè)選擇了放棄。

5.“攪局者”眾

自去年以來，無錫、寧波等地陸續(xù)有一批新企業(yè)進(jìn)入這個(gè)行業(yè)。作為硅片清洗設(shè)備的后進(jìn)入者，他們備受爭(zhēng)議。不少業(yè)內(nèi)先行企業(yè)不愿意與之共舞，這是因?yàn)橐恍┖筮M(jìn)入企業(yè)存在諸多詬病，如在產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)品定價(jià)、企業(yè)規(guī)模、企業(yè)規(guī)劃等方面，其表現(xiàn)都不盡人意，有些企業(yè)甚至成為市場(chǎng)的攪局者，使得原本競(jìng)爭(zhēng)激烈的局面更加混亂無序，這給品牌企業(yè)以及國外企業(yè)帶來困擾。