萬機儀器公司(MKS Instruments Inc.)成立于1961年，提供全球尖端制程科技所需的儀器、次系統、制程控制解決方案，以及量測、制程控制、能源、監測分析等，以提升制程效率及機器產能，其產品從核心技術衍生包含壓力及氣體流量量測及控制、材料輸送、氣體成分分析、靜電消除管理、機器數據及控制技術、電漿源及氣體產生器和相關真空技術，服務的產業包括半導體設備及生產工廠，以及相關薄膜制程應用，如：平面顯示器、太陽能、光盤紀錄媒體，以及任何先進鍍膜技術，同時其產品及技術也應用于其它尖端科技如制藥、生化制程、能源再生、環保監測等領域。


MKS以最優良產品結合產業布局提供包括：管理制程氣體流量進出制程腔體、測量及控制混合制程氣體壓力、分析及監測氣體成份、隔離制程環境受外在因素影響、供應制程電漿能源、產生腔體清潔用之制程氣體、結合各式各樣感應器、系統及控制器、管理靜電效應、校正儀器確保制程再現性、整合產品提供特殊制程系統等。


在整體經濟因素和全球競爭的影響下，半導體廠商一方面縮減資本支出，另一方面又要維持競爭優勢。因此，MKS精心挑選在業界最受肯定的制程控制系統，推出新一代產品，希望幫助客戶輕松升級現有設備，用更經濟的方式持續提升制程質量、產量和機器使用率。


例如，MKS的遠端電漿系統(Remote Plasma System) ，其專利產品ASTRON可以達到高效率的制程腔體清潔效果，透過模塊化的設計，讓使用者更容易管理與控制，提升制程管理效率并降低維護成本，廣泛使用在半導體、平面顯示器及太陽能產業。


萬機科技為MKS在臺灣的子公司，提供MKS相關產品銷售及技術服務。隨著半導體、平面顯示器及太陽能產業的持續蓬勃發展，MKS也將投入更多資源以提供更好的產品及服務為產業的前景貢獻心力。





圖說：MKS遠端電漿系統(Remote Plasma System)。