機械性質
設備制造商面臨FASW硅片的一個最大不利之處及挑戰是:處理機械強度減少的硅片。圖8比較了FASW和漿料硅片斷裂強度的不同。采用4點彎曲測試方法。FASW硅片的切割標記saw mark比漿料硅片的切割標記深2倍。用與彎曲桿平行的切割標記測量硅片,與漿料硅片比較,我們鑒別出機械強度的減少。材料的硬度能用波狀結構加強。FASW硅片上的切割標記與這種波狀結構類似,若切割標記的位置與彎曲桿垂直,就會產生較高的機械強度。
我們看到對單晶(或類單晶)硅片采用金剛石鋼絲的轉變。漿料硅片未來會變得更薄,更難處理。與更脆得FASW單晶硅片一起,設備供應商必須創新出更智能的設備,以有助于維持與現在設備同一水平的良率和正常運行時間。