日前SEMI發布了五項新技術標準，涉及半導體、MEMS以及光伏制造產業，由設備及材料供應商、SEMI國際標準項目小組等的技術專家共同制定而成。 

    此次新標準包含了對于光伏硅">光伏硅原料的檢測方法。SEMI國際標準總監James Amano,表示，“隨著光伏產業的迅速發展，SEMI已就光伏產業創建了一套標準體系。相信新標準的建立對于設備及工藝領域將有所保障。”

    五項標準分別是：

    SEMI E151
    Guide for Understanding Data Quality
       
    SEMI F107
    Guide for Process Equipment Adaptor Plates
       
    SEMI M75
    Specifications for Polished Monocrystalline Gallium Antimonide Wafers
       
    SEMI MS8
    Guide to Evaluating Hermeticity of MEMS Packages

    SEMI PV1
    Test Method for Measuring Trace Elements in Photovoltaic-Grade Silicon by High-Mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry