2013年1月18日，2012年度國家科技獎勵大會召開。中國恩菲完成的“多晶硅高效節能環保生產新技術、裝備與產業化”項目榮獲國家科學技術進步獎二等獎。

在恩菲人看來，今日榮譽的取得，是一種認可——對多晶硅產業技術進步的認可；是一種回顧——追溯中國恩菲在多晶硅產業領域奮斗累積的十余年間，發揮技術優勢，將產學研良好結合的每一段路途；是一種銘記——見證著中國多晶硅行業領軍人物風雨兼程，為推動行業發展揮灑的青春汗水……

1月18日，人民大會堂。

在2012年度國家科技獎勵大會的頒獎臺上，由中國恩菲工程技術有限公司（以下簡稱“中國恩菲”）及其控股子公司洛陽中硅高科技有限公司（簡稱“中硅高科”）共同完成的“多晶硅高效節能環保生產新技術、裝備與產業化”項目（以下簡稱“項目”）榮獲國家科學技術進步獎二等獎。

這一獎項，是目前多晶硅行業獲得的最高級別國家獎勵，更實現了該行業在國家科技進步獎榜單上“零的突破”，而以嚴大洲、沈祖祥、毋克力、肖榮暉、湯傳斌為代表的項目研發團隊，也將為行業所銘記。

以試驗示范線為起點，奠定技術基礎

作為一種超高純材料，多晶硅不僅是制造集成電路等半導體器件的關鍵基礎材料，也是當今光伏發電產業快速發展的核心材料，更是國家鼓勵優先發展的戰略材料，關乎全球化解能源危機的成敗。

多年來，我國由于缺乏先進的多晶硅生產技術，同時受制于發達國家的技術封鎖和市場壟斷，難以對自身豐富的硅礦資源進行充分開發利用，國內在產的多晶硅企業還因生產水平低、規模小、成本和單耗高、副產物難循環等問題而備受詬病。目前，國內的多晶硅幾乎全部依賴進口，導致中國信息產業和新能源產業發展受制于人，舉步維艱。

阻力重重，更加激發了中國恩菲硅材料研究團隊發展多晶硅、振興多晶硅的斗志和決心。自上世紀九十年代起，中國恩菲便將目光投向多晶硅產業：

1997年，中國恩菲以100噸多晶硅試驗示范線為起點，探索改良西門子法的相關技術，為深入研究多晶硅生產技術積累經驗；

2000年，中國恩菲率先在國內開展了多晶硅高效節能環保生產技術與裝備研究，率先獲得國家發明專利“四氯化硅氫化制備三氯氫硅方法”授權；

2002年，完成“年產2000噸三氯氫硅新技術產業化項目”，使自主研發的“合成產物加壓冷凝技術、加壓提純技術和尾氣干法回收技術”得以成功應用，并在節能環保方面取得顯著成效，為今后建設萬噸級生產線奠定了堅實的技術基礎；

2003年，中硅高科成立，以中硅高科為載體，通過“研—產—電—硅”強強聯合，中國恩菲邁開在多晶硅規?；a道路上行進的腳步，為尋找安全、高純、環保、低成本、大規模多晶硅生產工藝而執著追求，不懈努力。

以科研項目為依托，改變行業格局

2003年6月，中硅高科年產300噸多晶硅項目開工建設。當時國內還沒有人實地見過如此規模的多晶硅生產線，一切幾乎都是從零開始。中國恩菲多晶硅團隊克服行業景氣度低、融資困難等問題帶來的重重壓力，經過艱苦努力，在2004年成功研制國內首套12對棒還原爐，并于次年10月，迎來我國首條完全依靠自主研發技術，全部采用國產化設備建設的多晶硅生產線的順利投產；

以年產300噸多晶硅項目為開篇之作，在國家部委和地方省市兩級政府的大力支持下，中國恩菲和中硅高科承擔完成了國家科技部863計劃“24對棒節能型多晶硅還原爐成套裝置研究”項目，該項目于2007年研制成功，單爐產量提高5倍，能耗接近國際先進水平；在此基礎上，完成國家“十一五”科技支撐計劃“24對棒加壓還原爐”項目，成功研發第三代還原爐，單爐產量達到6噸以上，能耗指標達到國際先進水平；此后，又先后完成第四代、第五代還原爐的研發與產業化，成為國際單爐產量最高、單位能耗最低的節能工藝與裝備，解決了多晶硅生產高能耗問題。技術推廣后，使我國多晶硅規模提高了千倍，單爐產量提高10倍，能耗降低了66%，市場需求自給率達到50%。

與此同時，緊緊圍繞世界主流工藝的發展，中國恩菲與中硅高科多晶硅研發團隊開展了一系列科技攻關項目，共承擔16項國家級科研與產業化項目。如，國家信息產業部“太陽能電池用多晶硅材料研發及產業化項目”，國家科技部“十一五”科技支撐計劃項目“多晶硅材料產業關鍵技術開發”中“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究”“高效加壓還原爐系統研究”“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究”等三項重大課題，國家科技部“863”重點科技攻關項目“多晶硅副產物利用關鍵技術研究”。通過“高性能氣相二氧化硅制備工藝技術研究”和“氣相二氧化硅表面處理及尾氣循環利用技術研究”兩個課題，實現利用多晶硅生產副產物四氯化硅生產高品質氣相二氧化硅的關鍵技術突破，成功建成年產2000噸生產線，在進一步延伸產業鏈的同時實現大規模多晶硅生產線中物料的完全閉路循環。此項技術不但能降低多晶硅生產的物料消耗，也從根本上實現了副產物的綜合利用，真正實現多晶硅產業的節能減排和清潔生產。

歷經十多年攻關，解決了一系列困擾行業多年的難題，中國恩菲在多晶硅高效節能環保生產的關鍵技術、裝備與理論研究方面取得重大突破，最終形成了具有國際競爭力的技術和產品，消除了制約我國信息產業化和新能源產業的瓶頸。

以國家工程實驗室為平臺，引領行業發展

2008年，國家發改委批準在中硅高科設立“多晶硅材料制備技術國家工程實驗室”——這是國家多晶硅材料制備技術領域的唯一一家國家級重點工程實驗室。該實驗室依托中國恩菲和中硅高科，聯合清華大學等高等院校和國內多晶硅生產企業，共同研究突破技術瓶頸，培養、凝聚研發人才。按ASTM標準，實驗室配備了先進的多晶硅檢測儀器和分析工具，建設了包含氯硅烷分離提純技術、多晶硅高效還原技術等在內的六個研發平臺和一個測試分析中心，目前實驗室已通過國家CNAS認證，形成了持續研發能力。針對制約我國多晶硅生產現狀和需求，實驗室開發研究大規模、低單耗、高品質的高純多晶硅清潔生產工藝，形成了具有國際先進水平的千噸級以上規模多晶硅生產技術體系，提升了產業核心競爭力。此外，以該實驗室平臺為基礎，中硅高科建設了國家多晶硅檢測中心，通過了CMA計量認證，可對外提供檢測服務，涵蓋多晶硅生產的原料、中間物、產品、環保類等58個大項檢測，服務全行業。

依托國家工程實驗室，研發團隊緊緊圍繞“多晶硅高效節能環保生產新技術、裝備與產業化”專題，共申請專利97項，其中16項國家發明專利、21項實用新型專利獲得授權和152項技術訣竅，完成5項成果鑒定，有效實現了多晶硅技術的創新與專利保護同步發展。

自主創新引領技術進步的過程中，研發團隊還主編了我國首部《多晶硅企業能源消耗限額》《太陽能級多晶硅》和《多晶硅工廠設計規范》等3項國家標準，建立了能耗和質量控制要素、技術指標和評定方法，提高了我國多晶硅行業標準化水平，進一步完善了行業標準體系，為多晶硅產品升級、安全生產和節能減排提供了技術支撐，為民族多晶硅產業發展做出了突出貢獻，帶動了太陽能光伏和相關制造業的發展，實現了顯著的經濟、社會和環境效益。

以節能降耗為重點，實現技術突破

中硅高科采用當前多晶硅生產的主流工藝改良西門子法生產多晶硅，以節能環保為出發點，以產品品質為核心，以節能降耗為理念，結合現有工藝流程，不斷優化工藝路線。項目負責人嚴大洲表示，總結中國恩菲和中硅高科的技術創新成果，重點、亮點非常多，首先是通過節能技術解決了多晶硅生產的高能耗問題。

高純多晶硅的生產過程，是將高純三氯氫硅用高純氫氣還原成高純多晶硅的過程，其能耗占總能耗約50%以上，是實現多晶硅生產環節節能降耗的重點。

大型節能還原爐系統是實現大規?；a多晶硅產品的關鍵技術之一，是解決多晶硅大規模生產、成本低廉、提高產品質量的根本途徑。中國恩菲多晶硅研發團隊首次創立節能還原爐系統設計方法，通過模擬優化，大幅提高多晶硅節能還原爐單爐年產量，其核心技術裝置第五代還原爐已成功應用生產，達到國際先進水平。在此基礎上，還在研發36對棒、48對棒、60對棒大型節能多晶硅還原設備及加壓還原工藝技術，為萬噸級多晶硅生產線和節能技改提供技術支撐，具有重大的市場價值和良好的產業化開發前景。同時將整個多晶硅工程的各種能源要素通盤考慮，冷熱綜合利用，為多晶硅低成本、低能耗經濟運行創造條件。

以綠色環保為目標，為多晶硅正名

多晶硅還原尾氣主要含有氫氣、氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅等成分。由于過去通常采用濕法回收還原尾氣，工藝消耗大、收率低、生產成本高，一段時間以來，多晶硅行業一直被冠以“高排放、高污染”的“罪名”。對此，專家表示，對行業的判斷應從實際出發、從國家能源戰略的角度出發。多晶硅生產中是否會造成污染，與生產技術和工藝密切相關。

中國恩菲及中硅高科研發團隊開發了大型還原尾氣干法回收系統技術，充分利用尾氣中各組分物理化學性質的差異，首創具有自主知識產權的“加壓鼓泡淋洗-吸收-脫吸-活性炭吸附”的多晶硅尾氣分離回收利用新工藝；

成功研發并建立具有自主知識產權的吸收塔、脫吸塔、活性炭吸附器等特殊結構的大型裝置，實現單條還原尾氣處理能力滿足年產5000噸及以上規模多晶硅建設項目配套需求。

目前，國內首套大型還原尾氣干法回收裝置已經成功應用于中硅高科各條生產線，從運行結果看，氯硅烷、氫氣、氯化氫氣體利用率分別達到98.5%、99%、99%以上，使多晶硅生產過程中純氫消耗從傳統西門子工藝的近35立方米/千克降至1立方米/千克以下，且系統能夠適應多晶硅生產能力的變化，從根本上控制“三廢”排放，減少多晶硅原料消耗30%，降低多晶硅成本，實現了清潔、無害化生產。

以降本增效為導向，突破技術瓶頸

據統計，每生產1噸多晶硅產品將產生副產物四氯化硅10余噸，對其的回收利用直接影響環境、安全及企業效益。當前主流處理工藝是將其氫化轉變為三氯氫硅，成為多晶硅原料，返回系統使用。

通過小型、半工業試驗，中國恩菲從工藝上實現了將多晶硅生產過程中產生的四氯化硅向三氯氫硅的轉化，少量不能氫化返回的低品質四氯化硅經提純后用于氣相白炭黑生產，副產物循環利用率99%以上，多晶硅生產成本降低35%，通過物料的閉式循環利用，有效解決了多晶硅企業規?；a的瓶頸問題。

中國恩菲將創新技術集成后，在中硅高科實施產業化。運行結果表明，首創的低溫加壓氫化生產工藝、創新研制大型低溫加壓氫化裝置和活化、氫化氫氣回收技術，在反應條件、處理能力、一次轉化率和單位產品電耗方面都顯著優于當時國外氫化技術，達到國際領先水平。該工藝通過加壓、吸附、凈化系統，將活化、氫化的尾氣中氫氣全部回收，使其返回系統后循環使用，利用氫化高溫反應產物能量加熱進入反應器的反應物料技術，降低能耗水平達30%。

據了解，近幾年來，中硅高科除了應用低溫氫化技術處理自身副產物之外，還處理了來自國內多家多晶硅生產企業的副產四氯化硅，為行業協同發展做出了重要貢獻。目前，多晶硅行業形勢艱難，國內一些企業停產技改，紛紛采用低溫氫化技術，期望通過此舉能夠有效降低生產成本，提高我國多晶硅產品的競爭優勢。以全國10萬噸/年的多晶硅產量計算，若實現副產的100—200萬噸四氯化硅的全部氫化，將產生40—80億元的經濟效益，推廣前景非常廣闊。

另一方面，多晶硅純度是衡量產品品質的關鍵因素。中國恩菲從提高原料三氯氫硅的純度入手，聚焦于產品質量的提升。

中國恩菲發明了三氯氫硅合成、高效篩板與填料組合的加壓精餾提純技術，單套高純三氯氫硅分離能力為當時國內先進水平的10倍，提純后三氯氫硅指標優于國內先進水平2倍以上，且能夠滿足電子級多晶硅純度要求；發明大型高效、加壓、高溫三氯氫硅提純工藝，減少蒸汽消耗和塔頂循環水消耗，降低能耗45%；創新研制大型三氯氫硅加壓合成裝置，單套系統年產能高出國內最好水平2倍以上，合成產物中三氯氫硅含量、氯化氫綜合利用率和硅粉利用率，分別高出國內最好水平10%、9.1%和18.6%，達到國內領先水平；創新研制了合成產物加壓分離和尾氣全回收工藝，回收的氫氣和氯化氫氣體返回生產系統，從根本上解決環境污染問題，顯著降低成本。

以產業化成果為助推，彰顯行業責任

2005年，中硅高科年產300噸多晶硅生產線正式投產，標志著多晶硅規模化生產技術體系形成，打破了國外多年的技術封鎖和市場壟斷。2006年中國多晶硅產量達到286噸，同比增加257%，國外的單項技術和設備開始進入中國。

此后，中硅高科以中國恩菲雄厚的技術實力為依托，在2006年至2011年之間，創造了在國內率先實現千噸級多晶硅生產規模、建成投產國內最大的單條多晶硅生產線的驕人紀錄。目前，中硅高科已形成具有中國特色的“物料閉路循環、熱量綜合利用”多晶硅清潔生產工藝路線，擁有萬噸級多晶硅生產規模，位居世界前十位，技術水平和生產成本、產品盈利能力達到國際先進水平。2011年，我國多晶硅產量8.3萬噸，首次超過歐美，成為世界多晶硅生產大國，改變了世界多晶硅格局。

嚴大洲說，這次在國家科技進步獎勵大會上獲獎的“多晶硅高效節能環保生產新技術、裝備與產業化”項目的發展，實際上，就伴隨著中國恩菲、中硅高科的發展歷程。今日榮譽的取得，是一種認可，是對行業產業技術進步的認可，是對中國恩菲和中硅高科多晶硅團隊不懈鉆研，執著進取的高度獎賞；是一種回顧，追溯了中國恩菲在多晶硅產業領域奮斗累積十多年，發揮技術優勢，將產學研良好結合的每一段路途；榮譽是一種銘記，見證了以嚴大洲為代表的中國多晶硅行業領軍人物風雨兼程，為推動行業發展揮灑的青春和汗水。

艱難困苦，玉汝于成。

剛剛過去的2012年，是我國多晶硅—光伏產業發展歷程中最艱難的一年：美、韓、德等國對上游多晶硅市場實施大幅低價傾銷策略，嚴重影響企業生存；光伏終端產品遭遇美歐“反傾銷、反補貼”調查，形成毀滅性打擊；受金融危機、歐債危機影響，各國下調光伏補貼電價，削減裝機規模，下游市場急劇萎縮，……面對企業庫存積壓、大面積虧損和減產、停產，甚至破產的艱難境地，曾有人用“哀鴻遍野”來形容行業發展的嚴峻形勢。

破解光伏產業困局的重要手段之一，是全面啟動國內市場。嚴大洲說，從國家戰略上看，光伏產業屬于國家能源戰略的一部分，能源戰略，尤其是發展清潔能源戰略，是未來國家長久、穩定發展的根本性戰略。光伏產業的前景非常廣闊。當前，隨著國家一系列政策的出臺，我們已經看到國家大力發展光伏產業的決心。未來，伴隨政策落地，企業將迎來新的發展機遇。

挑戰也是機遇。中國恩菲仍然致力于通過技術改造和持續研發，以多晶硅制備技術國家工程實驗室為平臺，以中硅高科產業為基礎，不斷降本降耗，提升品質，節省投資。在研發了低溫氫化第六代技術和第五代還原爐之后，36對棒、48對棒、60對棒還原爐、硅烷法流化床反應器等研究開發仍在進行，也希望通過更先進的裝備，實現更大規模生產，實現行業技術水平的新跨越。

在中國恩菲多晶硅研發團隊的心里，榮譽更多的意義，是認可，是國家對所有為多晶硅行業的每一位從業人員和他們的家屬所付出的共同努力和奉獻的認可；榮譽也是激勵，為寒冬中的多晶硅產業帶來了希望和溫暖。

期待，以榮譽為動力，堅定行業同仁發展的信心。

期待，以榮譽為起點，我們共同努力，迎來中國多晶硅產業的春天。