近日，晶龍陽光設備公司開發的“一種用于單晶爐的四通式抽氣管道”和“一種滾珠式自動啟閉旋轉隔離閥”獲國家知識產權局頒發的“實用新型專利證書”。

“一種用于單晶爐的四通式抽氣管道”是集快速清掃、安全釋壓兩種功能為一體的新型抽氣管道。設備需要清掃時，可以在不用拆卸單晶爐抽氣管道的情況下直接打開蓋板，從兩個不同方位清掃管道內部粉塵，使清潔效果、效率大幅提升。清掃口蓋板靠自身重量與管道口緊密接觸，在抽真空狀態下保證單晶爐的高真空度，爐壓高于設定值時可自行彈起，迅速釋放爐內壓力，增強單晶爐安全性。

“一種滾珠式自動啟閉旋轉隔離閥”采用滾珠滑道的斜面設計，通過一個動力源實現閥蓋的升降與旋轉，既提升了其自動化水平，又提高了效率。