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西門子法生產(chǎn)多晶硅的熱力學(xué)

2011-01-30 6620 1.02M 0
苗軍艦1 陳少純2 丘克強(qiáng)* ,1
(1 中南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院, 長沙410083)
(2 廣州有色金屬研究院, 廣州510651)
摘要: 應(yīng)用有關(guān)熱力學(xué)數(shù)據(jù)研究了與西門子法相關(guān)的“Si-Cl-H”三元系的復(fù)雜化學(xué)反應(yīng), 分別繪制了在體系中存在的15 個化學(xué)
反應(yīng)的!rG"
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p -T 圖; 還給出在不同壓強(qiáng)和不同SiHCl3/H2 初始比例時的平衡氣相成分、η-產(chǎn)率隨溫度的變化圖以及在
不同的壓強(qiáng)下α因數(shù)隨SiHCl3 初始物質(zhì)的量的分?jǐn)?shù)的變化圖。熱力學(xué)研究結(jié)果表明, 高溫、低壓和小的SiHCl3/H2 初始物質(zhì)的
量的比對SiHCl3 還原有利; α因數(shù)隨著SiHCl3 初始物質(zhì)的量的比x4
0 的增大而增大。


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