日前，永吉股份旗下上海埃延半導體有限公司生產的首臺半導體材料襯底外延設備在上海臨港基地下線并交付客戶，標志著公司高溫氣相沉積設備研制境內技術路徑升級和零部件供應鏈整合成功，并正式開始境內客戶驗證。

2021年9月，永吉股份發(fā)布公告，以自有資金出資1.07億元對上海埃延半導體有限公司進行增資擴股。投資完成后，公司持有埃延半導體51%的股權。上海埃延半導體有限公司是一家擁有獨立自主知識產權的科研制造公司，致力于大硅片及第三代半導體材料襯底外延設備的生產制造以及襯底材料的研發(fā)，目前的主要產品是研發(fā)和量產外延片所需的生產設備。該公司創(chuàng)始人及其技術團隊主要成員來自美國應用材料公司，具有超過20年的半導體及太陽能大型設備開發(fā)、設計和維護經驗。公司技術團隊研發(fā)的第一代設備“單腔體多片式8英寸硅片外延設備”在境外已經獲得國際主流芯片廠商的驗證并投入量產。

在《中國制造2025》中，大尺寸碳化硅單晶襯底被明確為“關鍵戰(zhàn)略材料”“先進半導體材料”。埃延半導體開發(fā)的創(chuàng)新SFHC熱外延通用平臺技術，大幅度提高了碳化硅和硅襯底高溫外延的生產效率，較國際同行具有技術領先優(yōu)勢。目前此設備市場主要為歐美設備商所壟斷，埃延半導體的高溫氣相沉積設備研制生產成功將縮小與國際同行的技術差距，參與國際市場競爭。