在SEMICON China 2013開展首日，中微半導體設備（上海）有限公司正式發布了具有自主知識產權的多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備（MOCVD）——Prismo D-Blue?，并首次進入半導體照明市場。
 

 

Prismo D-Blue? MOCVD 設備可以實現復雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產，這些超薄層結構對于高亮度LED是必需的。中微的 MOCVD 設備不僅具有精準的參數控制、全自動化處理和獨特的緊湊設計等特點，而且擁有高生產率、高產能和低成本投入，是 LED 芯片制造過程中必不可少的新一代 MOCVD 設備。
 

中微此款具有自主知識產權的 MOCVD 設備可以容納多達4個反應器，每個反應器都可以獨立控制。這一創新設計可以實現卓越的生產靈活性。它也是該類設備中唯一帶有這一特性的產品，也就是說，中微的 MOCVD 設備可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質量，這是先進的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD設備在外形尺寸上也有相當的優勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue對于目前的 LED 芯片生產線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。
 

中微的Prismo D-Blue設備可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延芯片。除了具有多反應器結構的優點可以使其加工靈活性達到最大化以外，Prismo D-Blue 在每個關鍵性能指標上的表現都十分出色。在馬拉松測試中，它表現出了優異的片內和片與片之間的均勻性以及很好的重復性。這些結果都是在整個外延芯片加工的過程中未作任何工藝參數調整而得出的。外延芯片加工的過程對于反應腔室表面的條件、化學氣體環境、溫度轉換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達到持續的重復性確實有它獨到的一面。
 

在上述馬拉松測試中，Prismo D-Blue 從未發生過任何異常中斷，中微通過對工藝參數現場實時的監控實現了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復雜的軟件程序、先進的傳輸模塊、流程自動化和控制技術。這些同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業界廣為認可的技術。
 

Prismo D-Blue 還被進一步優化以方便用戶更易操作與維護。這對于一個發展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商來說是至關重要的。卓越的加工性能和正常可運行時間可以拉大服務之間的差距，而新穎的設計特點則能夠使得設備維護更加簡便易行。同時，自動化、可編程的維護程序使得反應腔開關操作更加安全、快捷、可預測并且不易出錯。
 

Prismo D-Blue 目前已擁有100多項專利（包括授權和未授權專利）以保護其獨特的創新性。此外，它還遵循了半導體制造規則并完全符合 SEMI 標準。
 

中微半導體董事長兼首席執行官尹志堯表示，中微為全球半導體制造商提供了先進的工藝技術和設備。目前，中微已有超過200個刻蝕反應機臺在亞洲16條國際領先的半導體生產線上運行。中微在硅技術上積累了豐富的經驗和工藝知識，進入半導體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。中微半導體不斷開發新產品進入新領域，并且步伐在不斷加快，MOCVD設備的開發到成功推出僅僅花了兩年的時間。中微有充分信心通過與客戶配合試生產并不斷完善，將其MOCVD設備打造成為全球最一流的設備之一。
 

SEMI全球副總裁、SEMI中國總裁陸郝安博士對中微新產品的發布表示熱烈的祝賀，他表示，SEMI作為全球專業的半導體設備與材料行業協會，在中國的使命即為推動中國半導體產業的發展。當前中國本土半導體業者最缺失的是核心競爭力，比如LED外延關鍵設備MOCVD多從國外采購，而今天中微在此領域取得重大突破成就是非常有意義的。