KZ-全自動去磷硅玻璃(PSG)清洗機
型號: KZ-DE-PSG
品牌:Kzone(晶洲)
用于去除硅片經擴散工序后表面產生的磷硅玻璃
優點:
1 經典槽式結構,方便維護
2 伺服驅動系統保證舉升和橫移運動高速穩定
3 可定制的工藝過程和干燥處理方式
4 完善的過程控制系統,全自動控溫和配液補液
5 友好的視窗操作界面,可進行參數設置、手動控制、工藝轉換
產品用途:
本設備主要功能是對刻蝕后硅片的表面磷硅玻璃去除
被清洗硅片:125*125*0.20mm
156*156*0.20mm
最大產量:1600片/小時
每批最大處理量:200片
節拍:450秒
200片盒最大尺寸:730*410*210mm
技術參數:
功能 去PSG
產品 單晶/多晶硅電池片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
產能 單籃節拍 450秒(可依客戶要求調整)
125mm*125mm 2400 pcs/hour
156mm*156mm 1600 pcs/hour
碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC,10寸彩色觸摸屏,急停按鈕、指示燈及系列報警系統,PP和SUS304槽體,GF閥門與管路配件,透明移門與視窗,特氟龍等
引進德國先進技術,價格優惠,品質保證
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蘇州晶洲裝備科技有限公司
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